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压电线性二维台-北京派和科技股份有限公司
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压电线性位移台适用于要求精确定位,完全非磁性或者真空兼容的环境。直接驱动的原理确保运动系统无任何机械间隙或齿隙,具有亚微米级移动精度、分辨率和平滑的线性运动。压电线性位移台具有卓越的精度、快速的响应和占地面积小、重量轻、功率适中等优点。

应用领域
  • 核磁环境下的设备

  • 航空航天中的精确定位

  • 生物医学领域精密微操作


产品特点
  • X、Y轴最大行程70mm,最大速度250mm/s

  • 体积小,重量轻,响应快,无电磁干扰,断电自锁

  • 采用分辨率为0.1μm的直线光栅,利用PID控制技术,重复定位精度可达0.5μm

  • 最大推/拉力可达16 N


产品规格

运动与定位性能

行程

70mm

单轴速度max

250mm/s

最小位移量

0.5μm

编码器分辨率

0.1μm

空载单轴最大/拉力

14~16N

台子最大负载

 3.5Kg

断电自锁力

 14N

预紧力

 72N

最大横向力

 16N

微动台直线度 

≤3um

微动台平面度

 ≤4um

偏角、导航

0.02°;0.01° 


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